在大都情况下，为清晰不同参数之间的相关性，样品剖析常常要凭借多种技能办法。美国Quantum Design研制推出的AFM/SEM二合一显微镜——FusionScope将原子力显微镜（AFM）、扫描电子显微镜（SEM）等多种技能深层次地交融，可以轻松地提醒来自同一方针区域样品的不同特性。近期，Quantum Design在设备原有功用之上，全新研制引入了能量色散射线光谱（EDS/EDX）。经过渠道特有的一致坐标系，
，对半导体职业，资料制作，地球科学，生命科学以及制药职业等范畴都具有潜在使用价值。
AFM-SEM-EDS原位相关功用装备了根据硅漂移探测器（SDD）的X射线探测器，为记载单个光谱和元素图供给了高能量分辨率。其电子阱具有优化几许形状，可以最大极限地进步X射线搜集功率，并最大极限地削减杂散射场。该体系可以进行
AFM/SEM二合一显微镜-FusionScope样品腔示意图。结合AFM-SEM-EDS与高达80°歪斜的耳轴。侧向视界供给了一个共同的视点来调查AFM顶级及其相互作用。
黄铜样品的SEM-AFM相关图画。SEM丈量显现了外表在横向尺度上的高分辨率视图，AFM制作了外表的高度变化图。感兴趣区域的SEM图画，a)加快电压7.5kV，2000x2000像素；b)AFM-SEM相关图画，增加了AFM图画透明度；c)AFM图画透明度为0。
感兴趣区域的AFM丈量，a)为动态形式下20 μm x 20 μm的描摹扫描，像素为1000x1000；b)同一次丈量中的相位图。
SEM-EDS技能提醒了感兴趣区域的元素组成，a),b),c)分别为Cu、Zn和Fe的独自元素映射。图d)为该区域在15kV下的SE丈量值；e)是添加了透明度的三种元素的叠加图，像素200x200，视场为50 μm；f)为AFM与EDS-Fe的叠加图。
为了更好的为国内科研工作者供给专业方面技能支撑和服务，Quantum Design我国北京样机实验室敞开Fusionscope多功用显微镜样机体会活动
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